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珂勒曦小课堂:前级泵简易抽速配置

信息来源:珂勒曦 时间:2019-03-26 07:52:00 浏览次数:-

《真空泵选型中前级泵(预抽泵)的选择》中,螺杆真空泵厂家珂勒曦介绍了主泵确定后,前级泵配置的几个原则。这次我们再来认识下实际中常见的主泵与前级泵的简易抽速配置。

真空机组2

珂勒曦罗茨螺杆真空机组

根据主泵的不同,真空系统前级泵的选择配置各异。

蒸气流泵类。这类泵包括扩散泵、油扩散喷射泵、增扩泵等。前级泵选择时,其抽速配置需要满足Sq>PgS/Pn(Sq,前级泵有效抽速;Pg,主泵允许的最高工作压力;S,主泵在Pg时的有效抽速;Pn,主泵前级的临界前级压力)或是大于Qmax/Pn(Qmax,主泵排出的最大气体量)。另外,选择机械泵作为前级泵时需要注意其抽速曲线,或在计算的前级泵抽速基础上放大1.5到3倍。

蒸气流泵外,罗茨真空泵是使用很广泛的主泵种类。根据工况工作压力的不同,罗茨泵与前级泵的抽速配置比选择一般均在2∶1~10∶1之间,具体取决于容积效率与许可压力差,还受气体温升影响。如罗茨真空泵配置油封机械泵,与前级泵的抽速比一般介于3:1~8:1之间,通常抽速大的罗茨泵取小值,抽速小的罗茨泵取大值;罗茨真空泵配置水环泵,其与水环真空泵的抽速比一般介于3:1~5:1;如果是两级罗茨泵串联机械泵,一般罗茨泵之间的抽速比为2:1~4:1。

涡轮分子泵作为主泵时,前级泵的抽速需要满足Sp>Qmax/Pj,其中Qmax为分子泵的最大流量,即0.1Pa压力下与抽速的乘积(涡轮分子泵的平稳抽速范围为10-1~10-4Pa),Pj为涡轮分子泵的前级压力。

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