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造成电阻式真空计测量误差的几个原因

信息来源:珂勒曦 时间:2019-07-19 07:55:00 浏览次数:-

电阻式真空计是热传导式真空计中的一种,通过热丝电阻的变化来反映压力,一般用于104~10-1Pa的压力测量区间。下面,螺杆真空泵厂家要和大家一起来了解下会造成电阻式真空计测量误差的一些原因。

电阻真空计

首先就是电阻式真空计的测量原理。电阻式真空计通过在规管内电阻系数较大的金属丝两端施加电压,再测量其电气参量来反映真空度。其结构主要包括规管与测量线路。这个基础上,电阻式真空计的电源电压低,而且频繁地波动或受外界的干扰,会对真空计测量造成测量误差。而且线性放大器实际上的非完全线性,以及测量过程中,理想运算放大器与实际运算放大器的出入差异,也会给实际运用带来误差。

其次就是电阻式真空计的使用条件与规管本身引起的测量误差。

环境温度的变化会直接影响到电阻真空计的测量误差。电阻式真空计对于微弱的光和热以及振动都很灵敏,引起的误差也很明显,而且不同的类型的电阻真空计(定压、定温、定流等),温度的影响也不尽相同。因此电阻式真空计在实际使用中,需要采取各种补偿法来克服环境温度的影响。

电阻式真空计的规管使用时间长了之后也会导致测量误差,这个主要是由于规管的热丝发生了疲劳现象。如蒸镀过程中,规管热丝被蒸镀上金属物,导致电阻温度系数变化而引起误差甚至使规管失效无法测量,或者热丝由于温度较高且在低真空度下工作,而导致氧化,适应系数改变,也会导致极大的误差,甚至热丝被烧断。

另外电阻式真空计本身的零散性较大,为确保其工作稳定性,除对热丝表面进行清洁处理外,还会在其表面敷涂保护材料,以避免热丝在高压力下使用时被氧化或污染,但这又将会导致热惯性增大。

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