在表面研究、热核反应、半导体研究、空间模拟等这些领域中，对真空的需求就会进入到超高真空范围，其工作极限压力一般介于10^-6～10^-10Pa之间，最高的可能会达到10^-12Pa。那这些超高真空应用所需的真空条件需要用哪些抽气系统实现呢，和螺杆真空泵厂家一起来了解下。

首先是扩散泵系统。它由扩散泵串联机械泵以及冷阱等系统构成。扩散泵系统是获得超高真空的重要泵种，但是在获得超高真空的过程中要解决来自扩散泵油、机械泵油的返流污染以及油热分解产生的气体返流。其中泵油返流可以通过液氮冷阱来捕集，而泵油分解产生的气体需要用钛升华阱来捕集。污染控制较好的扩散泵系统，可以得到10^-10Pa的真空度。

涡轮分子泵抽气系统。涡轮分子泵可以串联干式机械泵组成无油超高真空系统，不烘烤可以实现10^-6Pa的真空度，经烘烤可以达到10^-8Pa的真空度。如果串联扩散泵作为前级泵，降低前级管道中的氢分压，配合钛升华阱可以获得高于10^-9Pa以上的真空度。由于涡轮分子泵内表面积大，因此烘烤除气是非常必要的，但烘烤温度一般只允许到100℃左右。

溅射离子泵无油超高真空系统。此系统是获得清洁超高真空的主要手段，可以获得10^-9Pa的真空度，一般由溅射离子泵、钛升华泵与分子筛吸附泵或者是与涡旋泵、液氮阱等共同组成，可以获得清洁的无油超高真空系统。由于溅射离子泵的启动压力在1Pa以下，而且对有机蒸汽敏感，因此在使用时需要对其进行彻底的烘烤除气，并用预抽泵抽走烘烤释放出的气体。

低温泵抽气系统。低温泵抽气系统用低温泵作为主泵，并联或串联分子筛吸附泵，也可以用机械泵作为预抽真空泵，但若是油封机械泵就必须在机械泵的入口管路上设置油蒸气捕集器。低温泵抽气系统不产生碳氢化合物、金属膜的剥落碎片以及自身带来的气体污染，是一种清洁的抽气手段。20K的低温泵可以得到10^-8Pa的真空度，4.2K的低温泵可以得到10^-10～10^-12Pa的真空度。

除了上述这些，根据不同的应用需要与特点，也可以通过组合系统来实现更细致的需求。

珂勒曦是一家坚持自主研发的螺杆真空泵厂家，旗下螺杆真空泵产品自研型线，清洁无污染，拥有较宽的抽速范围以及良好的节能、稳定、易维护等优势，广泛适用于医药、化工、半导体等行业。如果您对珂勒曦螺杆真空泵感兴趣或想了解更多，欢迎留言咨询或拨打珂勒曦全国免费客服热线：400-886-7766，期待您的来电。