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氦质谱检漏的具体方法——氦罩法

信息来源:珂勒曦 时间:2019-05-15 08:06:00 浏览次数:-

氦质谱检漏中的氦罩法,也被称之为氦罩积分法,它是螺杆真空泵厂家要介绍的第二种氦质谱检漏方法。

氦罩法是利用检漏罩将被检件局部或整体罩起来。关于氦检漏罩的材料,可以用塑料薄膜制成。对于大批量的小型被检件,也可以制成专用的刚性较好的检漏罩,这样可以使充入的氦气压力高于大气压力,以便提高检漏灵敏度。检漏时先将罩内空气抽除,再充入氦气或氦气与其他气体的混合物,然后以检漏仪输出信号来表征漏孔的存在和被罩部位的漏率。

氦质谱检漏具体方法氦罩法

如上图所示,不论是局部的还是整体的氦检漏罩,都可以看作为一个口径很大的喷嘴,包围了部分被检件或整体的被检件。因此检漏仪所指示的是氦检漏罩所包围的所有漏孔漏率的总和。由于呈现的结果是一个总的漏率,因此氦罩法是无法确定漏孔的准确位置的。所以如果要确定漏孔的准确位置的话,还需要配合喷吹法进行进一步的检漏。

另外,检漏时如果氦检漏罩的容积较大的话,需要回收罩内氦气,或者解决好检漏场地的通风问题,以便降低空气中的氦的分压。

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