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珂勒曦小课堂:什么是本底压力?

信息来源:珂勒曦 时间:2023-03-06 08:12:00 浏览次数:-

本底压力是真空系统中的一个术语,那具体是什么意思呢?

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本底压力,也就是基础压力(base pressure)。螺杆真空泵厂家在介绍真空应用中常见的几种压力参数时提及过。以前指的是真空容器中可以开始实施工艺时的压力,但在《GB/T 40344.1-2021 真空技术 真空泵性能测量标准方法 第1部分》颁布后,有了变动。

基础压力的定义改为了:“真空泵和测试罩达到规定状态后,测试罩指定位置处测得的压力。”测试的过程也需要满足相应的标准,温度在18℃~25℃区间(波动稳定在正负1.5℃范围内)。具体测试方式与极限压力的测试雷同,即关闭所有进气阀的前提下,对测试罩抽真空1~2小时,直至观察不到罩内压力进一步下降,同时泵也达到它的平衡工作温度。如果本底压力小于10-2Pa,就需要引入测试罩烘烤动作(120℃烘烤3小时),如果小于10-4Pa烘烤过程更为复杂,同时测试罩要满足超高真空技术相关条件。

因此本底压力在新的标准中,在一些地方可能会代替极限压力。但由于本底压力获得有时间限制,极限压力一般仍会低于本底压力。

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