在一些具有腐蚀性气体介质的环境中，为什么会建议使用干式真空泵呢？

虽然液环泵、油封泵等和干式真空泵一样，都能通过使用各种耐腐蚀合金、涂层等，实现一定程度的防腐。但有个问题就是，腐蚀性气体与水汽或油类物质接触时，可能会使腐蚀介质的性质发生变化，腐蚀环境变得复杂，形成的溶液或反应产物还会显著加剧腐蚀进程，无疑会增加防腐难度与防腐成本。

例如常见的盐酸气体。干燥的盐酸气体（氯化氢气），温度不超过150℃的时候，对普通碳钢和铸铁的腐蚀都很轻微，处理就相对简单。但如果是湿盐酸气，或与泵内的冷凝水结合，形成盐酸溶液，这时介质对碳钢部件的腐蚀就会变得很严重，使其变为不可用。有案例表明某化工真空系统中，未处理的氯化氢气体（浓度0.5%）在80%湿度下运行，铸铁泵壳6个月即可出现穿透性腐蚀孔洞?。

同样像经常说到的二氧化硫（?SO₂），干燥的二氧化硫腐蚀性很低，常规金属都能胜任，但湿二氧化硫，以及二氧化硫溶于水生成的亚硫酸（H₂SO₃），在氧气存在下进一步氧化为硫酸（H₂SO₄），腐蚀性就不可同日而语了，即使是不锈钢，不同种类的应对这些混合介质腐蚀率都不一样?。

因此，对于这些气体介质来说，水环泵、喷射泵等就需要考虑应对这些变化。而对于油泵来说，同样存在油类介质的催化腐蚀反应。

比如氯气，干氯气对于常规碳钢、铸铁、不锈钢来说都有耐蚀性，但湿氯腐蚀性就很强，就需要用到特定镍铬钼铁合金。而氯气与润滑油接触后，会生成有机氯化物（如氯代烃），其酸性会剧增，容易导致金属表面点蚀?。再如，氟化氢（HF）气体渗入润滑油层时，氟离子容易与油中碳链发生氟化反应，形成氢氟酸-油混合液。

除这些外，像半导体蚀刻工艺中，有氯系、氟系等多种工作气体，过程不仅容易产生颗粒介质，遇水还会产生盐酸，因此油泵等在腐蚀性气体环境下，整个真空系统的配置工况就会变得复杂。

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