离子泵检漏法是无油超高真空系统中常用的一种检漏方法，造价低，结构简单。因为此前未介绍过这种检漏方法，今天螺杆真空泵厂家与大家一起来认识学习下这种检漏方法。

离子泵检漏法是利用示漏气体进入离子泵时，泵电流会发生变化的特性进行工作的。简单的检漏系统示意图如下：

首先将离子泵抽到较低压力后关闭阀门1，使离子泵在较低压力下维持工作；接着抽气系统将被检容器抽至1～0.1Pa时，关闭阀门2，打开阀门1，改用离子泵进行继续进行抽气；当达到一定的平衡压力后，开始用示漏气体喷吹可疑漏孔处，如果喷吹到漏孔，示漏气体就会进入到系统内，使离子泵的放电电流指示发生变化，根据这种变化可以检测出漏孔并估算漏孔的大小；根据示漏气体的不同，电流的变化指示也会有所差异，氩气会使电流指示上升，氢或者氧会引起泵电流下降。

上述过程中，根据漏孔的大小，可以通过调节阀门1和2的开启程度来实现检漏效能调整。离子泵检漏法检漏时的灵敏度与压力成反比，因此需要在较低的平衡压力下进行检漏。而且，因为气体成分会影响电离系数，进而改变电流，所以示漏气体最好能经过净化处理。常用的示漏气体包括氩、氢、氧、二氧化碳等。

一般情况下，离子泵检漏法的灵敏度可以达到10^-4～10-9Pa·m³/s，最高可以实现10^-12Pa·m³/s的最小可检漏率。

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