氦质谱检漏是一种灵敏度很高且常用的检漏技术。螺杆真空泵厂家已经介绍过氦质谱检漏仪，这次我们来了解下氦质谱检漏时的误差来源有哪些，以便更好地降低或消除测量误差。

氦质谱检漏时，产生测量误差的主要来源主要包括8个方面：

第一，氦质谱检漏仪在校准灵敏度时，标准漏孔所在的位置与被检漏孔的位置不同，即，标准漏孔与被检漏孔至检漏仪的距离相差太大，漏入氦气在途中损失不相等，这会导致经二者进入检漏仪的氦气量可比性差。

第二，进入被检漏孔和标准漏孔的氦气压力或分压比不相等，或者不能准确地给出氦气压力和分压比的数值而导致无法换算，这时也会产生漏率测量误差。

第三，所用标准漏孔的标称漏率有误差。

第四，氦质谱检漏仪输出指示与漏率的线性关系差。

第五，校准灵敏度或用比较法确定漏孔漏率时，所用标准漏孔与被检漏孔的气流特性不同。

第六，检漏仪的性能不稳定。

第七，氦气纯度不稳定或存在误差。

第八，最后也就是检漏操作人员的因素，包括素质、责任心、技术水平以及工作经验等。

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