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冷阴极电离真空计的几个使用注意事项

信息来源:珂勒曦 时间:2019-07-12 08:14:00 浏览次数:-

关于冷阴极电离真空计,螺杆真空泵厂家小编前不久才介绍过它在使用过程中指示不稳定的几个可能原因。今天,我们再来了解下它在使用中的一些注意事项。

冷阴极电离真空计1

首先,作为电离真空计中的一种,冷阴极电离真空计在测量中,面对不同种类的气体,由于气体电离电位不同,其测量结果也会不同。因此在测量不同气体的过程中,需要对真空计进行相应气体的校准或进行换算。

其次,冷阴极电离真空计与热阴极电离真空计相比,电清除作用明显。因此它在测量过程中伴随着较大的抽气作用(参见《真空规管在真空测量中的两种抽气效应》),使被测系统的局部压力发生变化,造成测量误差,最大可达±50%。尤其是在管路流导由1L/s降到0.01L/s时,冷阴极电离真空计规管内的真空度与被测系统中的真空度可差一个数量级。

第三,冷阴极电离真空计规管长期工作后需要进行清洗。这点,螺杆真空泵厂家在介绍其在使用时指示不稳定的原因中有过提及。规管在较高压力下或某些蒸气条件下个工作时间过长之后,会因电极的溅射或规管内壁上附有分解的碳水化合物而导致管壁漏电增大,当电极间的电阻小于1000MΩ时,就应进行清洗。清洗后最好对规管进行老化处理,即在0.1~0.01Pa的真空度下通电老化3h以上,再在真空校准系统上重新校准,绘制出新的校准曲线。

第四,冷阴极电离真空计的工作电压较高,因此其外壳必须接地良好,防止高压漏电造成事故。

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