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涡轮分子泵的前级机组可以有哪些配置

信息来源:珂勒曦 时间:2021-07-30 07:51:00 浏览次数:-

涡轮分子泵抽气系统也是一种清洁的抽气手段,可实现10-9Pa的超高真空度,广泛应用于各类精密仪器与真空技术应用中。但它需要配置前级机组,螺杆真空泵厂家与大家一起看看与它搭配的前级机组可以有哪些。

涡轮分子泵抽气系统

涡轮分子泵通常需要在真空室的压力达到100Pa以下,才能打开阀门进行抽真空作业。其前级机组常见的可以选择油封真空泵、螺杆真空泵、涡旋真空泵、罗茨泵-油封真空泵机组、罗茨泵-螺杆真空泵机组、罗茨泵-涡旋真空泵机组。如果采用螺杆真空泵或涡旋真空泵搭配罗茨,就可以组成清洁的干式机组。

根据实际情况,如果真空室的容积较小,可以直接采用油封真空泵泵、螺杆真空泵、涡旋泵作为前级泵以及进行粗抽;如果是真空室容积较大的情况下,为缩短粗抽时间,前级机组就可以配置上面提到的几种罗茨真空机组。粗抽后,罗茨真空机组可以转接为前级抽气系统,或者根据需要,关闭罗茨真空泵,直接用机组中的油封真空泵、螺杆真空泵、涡旋真空泵作为涡轮分子泵的前级泵。

后面螺杆真空泵厂家会继续介绍下涡轮分子泵抽气系统运行中的一些注意事项。

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