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真空测量技术的特点有哪些

信息来源:珂勒曦 时间:2017-05-23 13:01:00 浏览次数:-

真空测量是真空技术应用中必不可少的环节。之前螺杆真空泵厂家珂勒曦已经介绍过真空测量有测全压的,也有测分压的以及气体成分的等等,那它在具体操作过程中又有哪些特点呢?

真空测量技术的特点

真空测量技术的特点主要包括5个方面:

首先是真空测量的范围很宽。

真空技术发展到现在,可获得的真空度从1.01×105 pa直至10-14 pa,宽达19个数量级。因此不可能依靠一种测量原理和一种真空计来实现整个范围的真空度测量。不同种类的真空计对应各自不同的压力测量范围,即有不同的量程。

其次,真空测量多为间接测量。

除了在压力较高的真空区域(105~10pa),会采用压力直接测量外,大部分低压空间气体的测量都是利用低压下气体的某些特性(如热传导、电离等)来进行间接的真空测量,因此在使用相对真空计时都需要进行校准。

第三,真空测量通常采用电测技术。

间接测量的真空计大都采用非电量电测技术,因此测量反应迅速,灵敏度高,为实现自动化创造了良好条件。

第四,真空测量值与气体种类有关。

大部分真空计的读数与被测气体的种类和相关成分有关,因此测量时应注意被测气体的种类和成分,以避免造成测量不准或不必要的误差。

第五,测量精度不高。

在间接测量真空压力的过程中,往往需要引进外来能量(如热能、电能、机械能、放射能等等)。由于这些外来能量的引用将不可避免地产生测量误差,而稀薄气体所能产生的测量信号本身很微弱。这就决定了真空计的测量精度远比其他的物理仪器的测量精度低。

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