真空镀膜应用中对真空系统的质量要求较高，而这个质量要求涉及的主要是真空系统内所含的水蒸气多少及油污染的程度。今天螺杆真空泵厂家与大家一起了解下真空镀膜应用中水蒸气和油污染的来源有哪些。

真空应用中水蒸气和油污染不仅影响真空系统的质量，同时也会使真空度抽不上去，从而影响工艺结果。真空镀膜应用中的水蒸气和油污染与所用的抽气设备、操作方法以及抽气口上安装的电磁隔断或者充气阀有关，具体的包括：

首先是真空系统暴露大气时，大气中的水蒸气就会吸附在真空室的内表面上。水蒸气在真空镀膜应用中是一种较难处理的气体，因此需要通过烘烤、避免真空室直接暴露大气、吸附阱等方式减少影响。

第二个，一般的真空系统和真空设备其前级真空泵绝大多数都是机械泵，机械泵单独预抽过程中，尤其是油封泵，就会造成返油污染。为此可以通过采用干式泵、增加捕集阱，或者在机械泵与分子泵这样组成的系统中，让机械泵与分子泵保持联锁，尽可能同时起动，当分子泵停机时，机械泵也立即停止工作，来防止大量的返油。

第三个，如果采用油扩散泵，其返流也是油污染的重要原因。在选择油扩散泵的过程中要注意其结构的改进以及通过障板、挡油帽、冷阱、吸附阱等减少返流。

第四，前级机械泵的抽气口上的电磁隔断/充气阀效果不佳。电磁隔断/充气阀的作用是系统停机或意外断电情况下，隔断真空系统与大气的通道，阻断大气返到真空系统里，同时向机械泵中充大气，防止返油。如果电磁隔断/充气阀存在缺陷，比如管道阀门与放气孔的开闭先后顺序错误，就会使放气孔与真空系统短暂相通，造成大气冲入真空系统以及油蒸气返流。

第五，停机时，向真空系统充惰性气体是有效的保护措施，但为了方便直接充大气则是有害的，也会造成水蒸气与油污染。

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