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真空系统检漏之四极质谱计检漏法

信息来源:珂勒曦 时间:2019-04-22 08:03:00 浏览次数:-

螺杆真空泵厂家珂勒曦在介绍四极质谱计时提过,其可以用于真空系统的检漏。为此,在真空系统检漏方法介绍内容中,螺杆真空泵厂家为大家补充四极质谱计检漏法。

四极质谱计检漏法

四极质谱计可以利用被检件的工作介质作为示漏气体进行原位检漏,也可以对多个部件充以不同的示漏气体,同时进行检漏。具体的方法主要有3种:

一、残气分析法。四极质谱计原用于真空系统残余气体成分的分析,在得到全质量范围内的全谱后,通过找出峰值较高的几个峰和对应的质量数,利用质谱图识别技术来确定真空系统中的残余气体成分。分析残余气体成分过程中,可以通过谱峰来判定系统是否有漏。如N2、O2两种气体的峰高比大约为4比1,而且存在Ar峰,则系统有漏;对于有选择性抽气泵的系统,如果残余气体的主峰是Ar而不是N2,则系统有漏;对于超高或极高真空系统,如果N2峰高于H2峰,则系统有漏;经过彻底烘烤除气的金属系统,由于器壁强烈吸O2,就会看不到O2峰,N2峰又常被CO掩盖,因此如果质量数14(N+)和40(Ar+)的谱峰很高,则系统有漏。

二、单一示踪气体检漏法。根据示踪气体,将四极杆的高频电压选择在其质量峰左右进行扫描,检测该示踪气体的质量峰。当示踪气体喷吹在被检件的漏孔上时,示踪气体的质量峰就会急剧上升,从而找出漏孔位置。

三、多种示漏气体检漏法。根据预先设定的几种示漏气体,将四极质谱计调整在多离子检测模式,仪器变只对这几种示漏气体进行检测。当示漏气体被充入被检系统中不同的容器后,在容器外进行采样并将样品气体送入质谱计进行分析。如容器有漏,则对应容器中的示漏气体的峰强就会发生明细变化。

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