真空蒸发镀膜过程中需要在真空下加热蒸发膜材料。这个过程中加热是有多种方式的，今天螺杆真空泵厂家就和大家一起了解下这个。

真空蒸发镀膜设备中常用的加热方式主要包括以下几种：

首先是电阻式加热。电阻式加热蒸发源实际上是一个电阻加热器，利用发热体通电后产生焦耳热来获得高温，以此来熔融膜材料，使其蒸发。这种加热源结构简单，成本较低，具体还有丝状电阻源、舟状电阻源、坩埚加热器等形式。

第二种常见的是电子束加热蒸发源。电子束加热是通过电场加速电子，使其获得动能打到膜材上，使膜材料加热气化。这种加热方式比电阻式加热热效率更高，可以直接加热到材料表面，可以提高膜的纯度。其下具体的加热方式还有磁偏转式电子束加热、空心热阴极等离子电子束加热等。

第三种，感应式加热。感应式加热蒸发源是将装有膜材料的坩埚放在螺旋线圈的中央（不接触），再在线圈中通高频电流，膜材料在高频电磁感应下产生涡流出现升温，直至蒸发。这种加热蒸发方式的特点是对膜材料的纯度要求相对较低，蒸发源温度稳定，蒸发速率大。

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