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珂勒曦小课堂:真空测量的内容有哪些

信息来源:珂勒曦 时间:2017-05-05 13:30:00 浏览次数:-

我们在实际的真空应用过程中,难免要对真空环境进行一些必要的测量与确定,这就涉及到了真空测量。那真空测量的具体内容又有哪些呢?

真空测量

我们在真空测量中所用的工具被称之为真空计或者真空规。在真空测量中,被测的空间气体大多数为混合气体,如干空气、水蒸气以及一些化合生成物等等。因此真空测量一般测得都是混合气体的全压力。对应的测量工具也是测量全压的真空计。

除此外真空测量还包括两方面的内容,一个是气体成分分析,另一个是分压力测量。气体成分分析是指判断残余气体中包含哪些种类的气体成分,并大致估计各种成分所占的比例。而分压力测量则要满足一定精度要求的定量测定各种气体成分的分压力值。因此根据成分的不同,不同环境的真空测量需要用到不同类型的质谱计,有残余气体分析仪,也有分压力计。

另外值得一提的是,真空测量中使用的真空计分为绝对压力真空计与相对压力真空计。绝对真空计是从其本身测得的压强物理量中直接算出气体的压力值;而相对真空计则是通过与气体压力有关的物理量来间接地反映所测气体的压力值。与绝对真空计相比,相对真空计还需通过前者的校准才能准确地进行真空测量。因此真空测量之前还包括对真空计的校准工作。

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