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珂勒曦小课堂:真空计校准的方法有哪些

信息来源:珂勒曦 时间:2018-09-14 08:01:00 浏览次数:-

真空计有绝对真空计与相对真空计之分。后者不能直接从它测得的物理量中计算出压力值。因此在使用相对真空计时,需要利用绝对真空计等进行真空计校准。现在螺杆真空泵厂家小编就和大家一起来认识下真空计校准以及它的方法有哪些。

真空计校准的实质就是在一定条件下,对一定种类的气体进行相对真空计的刻度,从而得到校准系数或刻度曲线,以此确定相对真空计的读数及其大致的测量量程与精度。因此真空计校准需要有对应的对比标准。目前真空计校准所用的真空标准有绝对真空计、绝对校准系统以及副标准真空计,对应的校准方法包括:绝对真空计校准法、静态膨胀法、动态流导法与副标准真空计校准法。

真空计校准系统

绝对真空计校准法中,所有的绝对真空计都可以作为真空标准,将被校准的真空计与绝对真空计进行直接比较的方法就称之为绝对真空计校准法。

静态膨胀法是克努曾于1910年根据玻义耳定律提出建立的,即:恒定温度下,一定质量的气体压力与其体积的乘积为一常数。这种校准系统适合于中、低真空计的校准,一旦进入高真空(P<10-2Pa),就需要考虑消除减小器壁吸放气等因素影响。

动态流导法也称动态流量或小孔法校准,它是建立在气流连续性原理、分子流状态和等温条件基础上的,利用薄壁小孔作标准流导产生已知低压力。由于是动态校准,吸放气影响很小,且分子流状态下,流导是结构几何尺寸的函数,与压力无关,因此其校准下限随真空获得和小流量测量水平而延伸,是目前超高真空和极高真空的主要校准方法。

副标准真空计校准法,就是利用具有高稳定性和高精度性的相对真空计,使其通过一等真空标准器具的校准后,用它作为二等真空标准器具,来对一般的工作真空计进行校准。常用的副标准真空计有热阴极电离真空计与薄膜真空计。

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