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珂勒曦小课堂:真空系统中的几种压力参数

信息来源:珂勒曦 时间:2018-03-09 07:53:00 浏览次数:-

压力参数在真空系统中随处可见,指的是气体对于固体或者液体表面的垂直作用力,且在真空系统中它是与压强同义的。真空系统中存在的压力参数多样,现在就随无油真空泵厂家珂勒曦一起了解下。

几种压力参数

最常见的压力参数自然是极限压力。极限压力是真空系统中真空泵性能的主要参数之一。通俗的理解就是真空系统抽气过程中,经过长时间抽气,当真空泵或真空机组的抽速为0或者说真空室的压力参数一直维持在某一定值时,那就是真空泵或者真空机组的极限压力了。

其次是工作压力。工作压力就是企业生产过程中,为保证工艺实施及产品质量所必需的压力参数。真空设备选型过程中,为满足工艺要求,设备的极限压力都会低于工作压力一个数量级左右。例如某企业需要100Pa的工作压力,那无油真空泵厂家珂勒曦会建议其选型的产品少至少达到10Pa甚至更低的极限压力。

基础压力。在某些工艺领域或者技术人员口中,基础压力也叫本底压力,指的是生产工艺开始实施时真空室的压力。例如磁控溅射应用可能需要将本地压力抽至10-4Pa,而溅射过程的工作压力可能在1Pa左右。

残余压力。残余压力某些时候其实和极限压力一样,是指经过真空泵或者真空机组一段时间的抽气作业后,真空室中残存气体的全压。如果此时的真空系统已经没有抽速了,那残余压力就是真空泵或者真空机组的极限压力。

上面就是无油真空泵厂家珂勒曦今天介绍的真空系统中可能会遇到的4种压力参数,您是否了解了呢?

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