螺杆真空泵厂家珂勒曦已经向大家介绍过检漏方法的分类以及较为普遍的几种检漏方法。在实际检漏应用中，除了各种检漏方法之外也会用到各种真空检漏仪器，我们也一起来了解下。

今天先说说高频火花检漏仪。

高频火花检漏仪的主结构就是一个小功率、高频、高压的塔式线圈。通电后在其次级线圈的尖端会形成高频高压电脉冲，在大气中会不断引发随机、短促的脉冲放电，释放出尖细、曲折的电火花。利用这种高频电火花可以在玻璃真空系统或器件中寻找细微漏洞，也可以用于橡塑陶瓷管道等非导电体的真空系统检漏。如果要检测金属真空系统或容器时，需利用安置在金属系统上的玻璃规管或盲管进行检漏。

高频火花检漏仪结构简单，体积小、重量轻，携带与使用都很方便，可用压力范围10³～10^-1Pa，可检最小漏率为10^-3～10^-4Pa·m3/s。按其产生高频、高压脉冲方式的不同，可分为电容电感串联谐振式与振动子式。前者火花束强、振荡稳定，但体积大笨重；后者体积小、方便，但振荡不够稳定。

实际使用中，高频火花检漏仪的检漏方式有两种：火花法和放电法。

火花法适用于玻璃真空系统或器件的检漏。使用时用放电尖端搜寻漏孔，如无漏孔火花束在玻璃表面不规则跳跃，并向四周发散。如有漏孔，因空气进入真空系统，放电尖端移至漏孔处时，气流会被电离，导电率上升高于玻璃，分散的火花束就会集中成为细长明亮的火花束，尾端指向漏孔。

放电法适用于玻璃真空系统，也适用于金属系统（借助玻璃规管或盲管）。它利用的是低真空中气体放电颜色的不同来进行检漏。当真空检漏仪器的尖端火花打在几千至1Pa的真空系统的玻璃壁上，会使系统内气体产生辉光放电，不同的气体会呈现不同颜色。但是系统处于正常大气压或者10^-2Pa以下时，呈现的则为无色。

各种气体在高频火花检漏仪放电法中的辉光颜色

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