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真空技术基本方程背后的意义有哪些

信息来源:珂勒曦 时间:2017-06-08 13:02:00 浏览次数:-

在真空泵选型后,已确定具体的真空泵参数及管路流导之后,可以根据真空技术基本方程来获得真空设备在真空容器出口的实际抽速。除了计算之外,透过真空技术基本方程,我们可以看到背后更多的意义。

根据真空系统中的气体连续性方程,可以推导出真空泵的抽速Sp、管路流导C及真空系统在真空室出口的有效抽速Se的关系:

真空技术基本方程1

根据上面公式,可以再演变为:

真空技术基本方程变体

以后就是真空技术基本方程的几种形式,如果公式过于抽象,我们可以用文字来表述真空技术基本方程所包含的意义。

首先真空泵或是真空机组,在真空室的有效抽速只会小于设备本身的名义抽速,同时也会小于系统管路的流导。

其次,当管路流导远大于真空泵或真空机组的抽速时,则系统的有效抽速会接近与设备的名义抽速。也就是说当管路的流导很大时,真空室出口处的有效抽速只受真空机组本身抽速的限制。

而反过来,当管路流导远小于真空泵或真空机组的抽速时,真空室的有效抽就受限于流导,更多的取决于管路流导的大小。

因此在真空泵选型及真空系统设计过程中,对抽速的要求不仅仅只看真空泵的性能,同时需要保证管路有足够大的流导,减少因管路流导引起的抽速损失,才能保证真空系统性能的最大发挥。

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