很多真空工艺应用中都会产生粉尘颗粒，对真空泵等产生影响，甚至引起故障。因此在有粉尘颗粒的环境下，采取合适的除尘过滤方式进行处理是很有必要的。

粉尘颗粒对于油封泵来说，不仅会污染泵油、堵塞油路，同时会像研磨剂一样对泵腔、转子等造成磨损。即使是对粉尘颗粒具有良好耐受性的干式螺杆真空泵，面对大量的粉尘颗粒，同样需要合适的方式来进行过滤除尘，以防止粉尘磨损泵腔、转子，引起转子卡死等风险。面对粉尘颗粒环境，在真空系统中布置除尘器，做好除尘过滤是延长真空泵使用寿命，提高真空生产效率的一个有效措施。

不管采用哪种除尘器，除尘过滤方式不外乎下面几种：

一、旋风分离式。利用旋转气流产生的离心力作用而使粉尘颗粒沉降在过滤器的底部，具体可以看螺杆真空泵厂家以前的介绍文章《常用除尘设备——旋风除尘器》。

二、油淋式。通过油泵，使真空泵油从除尘器的顶部高速喷下，油雾与上升的气流相互混合吸附，使气流中的粉尘颗粒与油一起沉降至油池。

三、油湿介质粘附式。将环状、颗粒状的陶瓷、金属丝条浸湿真空泵油，然后让带粉尘颗粒的气流撞击这些介质从而被粘附。

四、介质阻挡式。即利用金属丝网、天然或合成纤维、多孔金属塑料等介质的机械阻挡作用过滤粉尘颗粒。

五、静电吸附式。利用真空中气体辉光放电形成的等离子体，使粉尘颗粒在等离子体中附着电荷，从而在电场力作用下被驱向电极表面捕集。

六、混合式。也就是混合上面的几种形式对粉尘颗粒进行捕集过滤。

这些不同的除尘过滤方式，针对的粉尘颗粒大小、过滤效率、阻力等也会有所差异。

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