真空系统及材料表面的污染会影响其真空度的获得，以及真空部件连接处的强度与密封性能等，因此清理必不可少。真空系统及材料清理后会获得两种程度的清洁表面，螺杆真空泵厂家和大家一起来认识下。

真空系统及材料清理可以改进真空系统中器壁以及其他组件表面在各种工作条件下的工作稳定性，诸如高温、低温以及电子、离子、光子或重粒子的发射与轰击。经过清理后的表面根据程度可以分为两类：原子级清洁表面与工艺技术上的清洁表面。

原子级清洁表面只在超高真空下实现。螺杆真空泵厂家此前介绍的辉光放电清洗、反应气体冲洗等方式都可以获得原子级清洁表面。它需要在严格控制的环境条件下进行，通常是在真空工艺系统的内部进行，要经过较长的时间过程。其他的获得方式还有高温烘烤、粒子轰击等等。

但是一般的实际应用中，要求获得原子级清洁表面的并不多，仅要求的是工艺技术上的清洁表面。这种程度的清洁表面只要保证所有的表面尽可能的没有微观结构物质，处理后的表面各种分子约束紧密，在基本相上没有明显的化学物质。像各种溶剂清洗等方式都可以实现工艺技术上的清洁表面。

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