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真空系统检漏方法之氢-钯法

信息来源:珂勒曦 时间:2020-06-10 07:58:00 浏览次数:-

氢-钯法是利用金属钯对特定气体的渗透特性来进行真空检漏。此前的真空系统检漏方法介绍中,螺杆真空泵厂家还没有介绍过氢-钯法,这次我们就一起来简单了解下这个氢-钯法。

关于金属钯,螺杆真空泵厂家在《真空系统常用金属之贵重金属》中介绍过,其对氢气有很高的溶解度,渗透率也特别高,因此会经被常用于氢-钯法检漏中(H-Pd法检漏)。简单的检漏原理如下:

氢钯法检漏装置

通过一个带有钯管或者钯片的已抽成高真空的且密封的电离规管,在钯管外面设置一个加热器可以对钯管或者钯片进行加热;将被检件与上面提到的电离规管一起接到真空系统上,在系统压力为10-1Pa~10-3Pa时,系统与真空泵隔离,开始加热钯管或者钯片;当把钯管或钯片加热到700℃~800℃时,由于氢对钯的渗透性很强,所以氢气可以通过钯而其他气体不能通过;然后用氢气喷吹被检件的可疑部位,如果有漏孔,氢气就会通过漏孔进入到系统并经钯管进入电离规管内,此时,电离读数便会升高,指示漏孔所在;停止检漏时,就使系统与泵接通,电离管内的氢气又通过钯管进入系统被抽走。

氢-钯法的最大工作压力为4Pa,下限没有限制。它最大的优点是灵敏度与压力无关,一般可达10-4Pa·L/s~10-8Pa·L/s。另外如果钯的表面出现污染,在空气中加热就可以得到净化。

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