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冷阴极电离真空计的测量范围为什么较窄

信息来源:珂勒曦 时间:2020-02-21 07:51:00 浏览次数:-

《真空系统常用真空计之电离真空计》中,螺杆真空泵厂家介绍过普通冷阴极电离真空计的测量范围一般介于10-1Pa~7×10-4Pa之间(非磁控管式),测量范围还是比较窄的。那为什么会这样呢?

冷阴极电离真空计

冷阴极电离真空计通过测量规管中的离子流的大小来反映被测气体的压力值,其离子源采用的是冷阴极放电。普通的冷阴极电离真空计之所以测量范围较窄,一方面是由于当压力过低时,真空规管内开始工作的电子会很少,因此会变得不容易激发,建立和维持放电比较困难;另一方面,工作不稳定以及规管放气、吸气等因素,特别是作为离子收集极的阴极在强工作电场作用下所产生的场致发射,也会限制冷阴极电离真空计的测量下限。为此,普通的冷阴极电离真空计的下限一般就在10-4Pa左右。

而普通冷阴极电离真空计的测量上限也主要是受限于两方面的原因:一个是高气压下的离子复合效应,电子与离子的复合几率会增加;另外一个是高气压下回路限流电阻中流过的电流过大,导致工作电压降低。这两个原因都会使规管的灵敏度降低,所以上限一般在10-1Pa这个数量级。

但是这种普通冷阴极电离真空计可以通过一定的方式来扩展其测量范围,比如采用两个不同电极尺寸相结合的组合式规管。这种规管有两个电离室,测量低压时采用高电压、大尺寸的电离室,而测量高压时采用低电压、小尺寸的电离室。这个时候,普通冷阴极电离真空计的测量范围就可以达到1~10-5Pa,扩展两个数量级。

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