热阴极电离真空计是电离真空计中的一种，螺杆真空泵厂家在《真空系统常用真空计之电离真空计》有过提及，它又分普通型、高压力型以及超高真空型。今天我们来认识几种超高真空热阴极电离真空计。

超高真空热阴极电离真空计的测量一般范围介于10^-1～10^-8Pa之间，部分下限可达10^-10Pa，它的量程与普通的热阴极电离真空计相比，得到扩展主要是因为消除了本底光电流对测量的影响，具体主要包括以下几种：

首先是B-A规，它是很典型以及普遍的超高真空计，我们在《珂勒曦小课堂：什么是B-A真空计》中有过单独介绍，因此具体的可以移步到该文查看。

其次是抑制式真空计。抑制式真空计利用较强的负电场作用于离子收集极表面，抑制光电发射，让光电发射的电子重新返回收集极，从而实现了真空计测量范围的延展。与普通B-A规相比，其测量压力下限可以扩展两个数量级，达到10^-10Pa。但是由于采用了表面积较大的屏蔽罩和收集极等金属件，在做超高真空测量时，规管除气是不可少的。

第三，弯注抑制式真空计。弯注抑制式真空计是抑制式真空计的改进产品，在抑制规管中增加了90°的静电偏转系统。偏转系统能够通过多次反射减少到达收集极的软X射线，同时屏蔽罩和抑制极可以抑制此部分的软X射线引起的光电流，从而使光电流的影响减小。理论上它的测量下限可以达到10^-12Pa，但实际上由于高温钨丝、电极间的漏电、微弱离子流、除气等影响，实际测量下限在10^-11Pa左右。

第四，调制式真空计。调制式真空计是在B-A规管的加速栅极中增加了一根和离子收集极平行的金属杆作为调制极，来消除光电流对测量的影响。调制式真空计压力测量下限比B-A规低1-2个数量级，最低可达10^-10Pa。

第五，分离式真空计。分离式真空计通过离子收集系统将正离子由屏蔽罩小孔中提取，并经过反射极反射聚焦到短收集极，提高规管灵敏度。另外由于其结构关系，经过屏蔽罩大大减少的软X射线对离子收集极的照射角度很小，本底光电流也相应降低，因此带调制极的分离式真空计其测量真空度可以到10^-11Pa。

除此外还有管型倍增器规、A-T规、离子谱规等，这些基本上都是在B-A规的基础上改进而来。还有热阴极磁控规，通过磁场来提高规管的灵敏度的，但由于难以均匀磁化，使得其灵敏度与圆柱形永久磁铁的位置有关，也不太稳定，所以很少见到。

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