真空系统中除了不锈钢等金属材料，还有许多非金属材料应用，如陶瓷、玻璃、橡胶等。此前一篇螺杆真空泵厂家简单介绍了不锈钢氧化物的化学清理方法，今天再来说说陶瓷玻璃橡胶等非金属材料件的常规清理。

首先是橡胶材料。橡胶在真空系统中广泛用于密封，形式种类多样，一般不受稀酸溶液、碱溶液以及酒精的腐蚀，但会受到硝酸、盐酸、丙酮以及电子轰击损害。因此橡胶产品使用前可用无水乙醇擦洗吹干，禁止使用丙酮清洗，以避免损坏密封面。如果油污染严重，可以在70℃左右、浓度为20%的氢氧化钠溶液中煮洗30分钟左右，然后再用自来水、去离子水、无水乙醇依次清洗，最后用洁净空气吹干。

其次是陶瓷件的清理。陶瓷件可以使用超声波清洗以获得清洁表面，常规的用去污粉、肥皂水刷洗。也可以在10%氢氧化钠溶液中煮20分钟后，用自来水冲洗，再用去离子水煮15分钟（1～2次），最后烘干。陶瓷件一般不允许酸洗、酸煮，也不能用三氯乙烯去油，以避免留下导电层。如有金属痕迹、锈斑等，可用棉球浸5%盐酸擦洗。对于表面清洁度要求很高的陶瓷部件，可能最后要在真空环境中进行烘烤、等离子辉光放电等处理。

玻璃件的清洗也可以采用超声波清洗，一般常规的用有机溶剂擦洗除油，再用去离子水及蒸馏水擦洗，最后用无水乙醇擦洗脱水烘干。需要注意的是，玻璃上的污染物大多数可以用含水的洗涤剂或者用其他溶剂清除，但清洗的时间不能过长，以免它们被吸附到聚合物结构中，促使其膨胀，并可能在干燥过程中开裂。因此，清理应尽可能伴以软性液体浸泡和冲洗。另外，恰当的辉光放电轰击及辐射处理对玻璃的表面有利。

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