抽速4.2~99.99m³/min,极限压力0.1~1Pa
抽速4.2~30.6m³/min,极限压力0.1~1Pa
抽速1.6~10m³/min,极限压力1~10Pa
抽速9.0~86.4 m³/min,极限压力≤5.0×10⁻² (Pa)
抽速3.8~24.6 m³/min,极限压力≤1.0×10⁻² (Pa)
排气量6.9~96.9m³/min,电机功率11~160kW
抽速11~205m³/min,极限压力20~50kPa