干式真空泵作为无油真空设备的核心品类，应用场景广泛，但行业内曾长期缺乏明确界定。结合实际应用需求，目前通用定义为：可在大气压至10⁻²Pa压力范围内稳定工作，抽气流道（如泵腔）内不使用任何油类及液体介质，排气口直接与大气相通并能连续排气的真空泵，也常被称为无油真空泵。相较于传统油封式机械泵，干式真空泵最大的优势在于从根源上避免了油蒸汽对抽气环境的污染，这也是其在精密制造、电子半导体、生物医药等高端领域备受青睐的核心原因。
当前市场上的干式真空泵品类繁杂，若按核心工作原理划分，可清晰归为两大类，各类产品特性与适用场景各有侧重：
一、容积式干式真空泵
这类真空泵通过改变泵腔容积实现气体的吸入、压缩与排出，常见类型包括多级罗茨泵、爪型泵、往复式活塞泵、螺杆式泵、涡旋式泵等。其核心优势是运行稳定、压力控制精准，极限压力通常在0.1～10Pa之间，抽速范围为0.01～0.04m³/s，广泛适用于对真空度要求中等、需洁净抽气环境的工业场景，如材料加工、食品包装等领域。
二、动量传输式无油真空泵
此类泵依靠动量传输实现气体压缩与排出，典型代表为涡轮式无油泵，牵引型干式泵也属于这一范畴。涡轮式无油泵排气侧可直接与大气连接，在连续流状态下具备较高压缩比，属于粗抽泵范畴，可实现从大气压到10²Pa的抽气范围。结构上多采用径向流与周向流泵的复合式设计，通过多级串联提升抽气性能，其极限压力可达10⁻²Pa，抽速范围为0.02～0.15m³/s，适用于需要快速粗抽、大抽速的工业场景。
值得注意的是，干式真空泵与油封式机械泵的核心差异的不仅在于是否含油，更体现在残余气体成分上。经专业检测分析，油封式机械泵的残余气体以碳氢化合物（CₙHₘ）为主，存在明显油污染风险；而干式真空泵的残余气体成分与空气一致，彻底杜绝了油污染问题。
部分用户可能会关注：有些干式泵的传动齿轮、轴承等部件仍会使用润滑油（如PFPE合成油等），是否会影响“无油”特性？实际上，这类干式泵通过特殊结构设计，已采取严格密封措施阻止油蒸汽进入泵腔。经检测，泵入口处的合成油成分含量微乎其微，完全不会对抽气环境造成影响，仍属于符合行业标准的干式真空泵范畴。
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